MEMS陀螺仪技术解析与应用

一、工作原理

MEMS陀螺仪通过微机电系统实现角速度测量，其核心组件包括：

• 硅基MEMS传感器
• 科里奥利力检测机制
• 数字信号处理电路

二、应用领域

三、技术参数

典型MEMS陀螺仪参数规范：

• 测量范围：-2000°/s至+2000°/s
• 功耗：≤5mW（3.3V供电）
• 接口类型：SPI/I2C
• 温度漂移：≤0.5°/s/℃

四、注意事项

使用时需注意：

• 避免强磁场干扰（＞1.5T）
• 温漂补偿算法需定期校准
• 冲击加速度＜2000g

参考文献：

• MEMS惯性传感器校准规范（GB/T 36338-2018）
• MEMS陀螺仪信号处理技术（张三等, 2020）